科氏力氣體質量流量控制器

簡要描述：科氏力氣體質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

產品型號：
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-05-28
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詳細介紹

品牌	其他品牌	價格區間	面議
產品種類	其他	介質分類	氣體
產地類別	進口	應用領域	化工,石油,能源,綜合

科氏力氣體質量流量控制器概述：

◆管狀分流，不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預熱時間短，零漂小，可靠性高
◆數字量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量

基本原理為：一根兩端固定的薄壁測量管，在中點處以測量管諧振或接近諧振的頻率（或其高次諧波頻率）所激勵，此時，在管內流動的流體產生科里奧利力，使測量管中點前后產生方向相反的撓曲，撓曲的大小與流體的質量流量成正比。因此，用光學或電磁學的方法檢測測量管的撓曲量，就可以求得管內流體的質量流量。

應用行業：

玻璃行業	太陽能	大氣監測	工業制作	石油石化
煤炭冶金	制氣配氣	環保	各種儀器分析

科氏力氣體質量流量控制器參數：

量程范圍	100SCCM～30SLM
測控范圍	量程比50:1
準確度	±1.0%F.S
線性	±0.5%F.S
重復精度	±0.2%F.S
響應時間	<2s
數字量	RS232/485，MODBUS協議
模擬量	0～5V、4-20mA、1～5V
供電	±15VDC，24VDC
工作溫度	0～50℃
工作壓力	工作壓差：0.05~0.5Mpa
最大耐壓	3MPa/10MPa
電氣連接	DB15孔
漏率	1×10-9SCCSHe
溫度系數	±0.025%F.S/℃
底座材質	不銹鋼
密封材質	氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠
接頭	φ3，φ6，1/8"，1/4"